熱式質(zhì)量流量控制器與其他流量計(jì)的區(qū)別在于，基于熱原理的產(chǎn)品比市場上其他類型的流量控制器具有更高的自動化集成度、更好的精度、穩(wěn)定性和重復(fù)性。在實(shí)際使用中，發(fā)現(xiàn)當(dāng)輸入氣體不同時(shí)，控制顯示值與實(shí)際值不一致。事實(shí)上，原因很簡單，因?yàn)樵贛FC行業(yè)中，有一個(gè)參數(shù)叫做CF，即氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)（以下簡稱CF）。在MFC工業(yè)中，N2（氮?dú)猓┍欢x為標(biāo)準(zhǔn)氣體M。N2的CF值為1.00，其他氣體以氮?dú)鉃橹行模植荚?.1和1.4之間。 熱流量計(jì)是一種基于熱擴(kuò)散原理設(shè)計(jì)的流量儀表，即當(dāng)流體流過加熱物體時(shí)，加熱物體的熱損失與流體的流量成正比。該系列流量計(jì)的傳感器有兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)級RTD，一個(gè)用于熱源，另一個(gè)用于測量流體溫度。當(dāng)流體流動時(shí)，兩者之間的溫度差與流速成線性關(guān)系，然后通過微電子控制技術(shù)將該關(guān)系轉(zhuǎn)換為測量流量信號的線性輸出。閥體的溢流材料為不銹鋼。
熱式質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于以下行業(yè)：
1.鍋爐和裂解爐燃料氣質(zhì)量流量的測量和控制；
2.石油化工、石油生產(chǎn)和火炬氣的質(zhì)量流量測量；
3.燃燒爐空氣質(zhì)量流量的測量和控制；燃?xì)廨啓C(jī)氫氣質(zhì)量流量和控制；
4.食品加工和飲料氣體質(zhì)量流量和控制；
5.水廠氯氣質(zhì)量流量控制；
6.半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的高純度氣體質(zhì)量流量測量；
7.催化劑和化學(xué)添加劑質(zhì)量流量測量；
8.泵保護(hù)控制、泵密封、潤滑油池泄漏檢測；
9.空調(diào)系統(tǒng)控制；
10.儀表空氣、工藝空氣、氮?dú)獾鹊馁|(zhì)量流量測量。
11.氣體分析儀、大氣采樣器
12.泄漏監(jiān)測
13.配氣系統(tǒng)
14.實(shí)驗(yàn)室氣體測量
15.醫(yī)療應(yīng)用
16.燃料電池
